電感耦合等離子體發射光譜儀高分辨率的光學系統可實現有效的光譜干擾分離。在波長200nm處，分辨率為7pm，便于對復雜樣品進行簡單分析，無需過于復雜的光譜干擾處理技術.可用于地質、環保、化工、醫藥、食品、生物、冶金、農業等方面樣品中七十多種金屬元素和部分非金屬元素的定性、定量分析。
等離子體(ICP)在近代物理學中是一個很普通的概念，是一種在一定程度上被電離（電離度大于)的氣體，其中電子和陽離子的濃度處于平衡狀態，宏觀上呈電中性的物質。
電感耦合等離子體(ICP)是由高頻電流經感應線圈產生高頻電磁場，使工作氣體形成等離子體，并呈現火焰狀放電(等離子體焰炬)，達到的高溫，是一個具有良好的蒸發一原子化一激發一電離性能的光譜光源。而且由于這種等離子體焰炬呈環狀結構，有利于從等離子體中心通道進樣并維持火焰的穩定。
較低的載氣流速（低于)便可穿透ICP,使樣品在中心通道停留時間達~，可蒸發、原子化：ICP環狀結構的中心通道的高溫，高于任何火焰或電弧火花的溫度，是原子、離子的最佳激發溫度，分析物在中心通道內被間接加熱，對ICP放電性質影響小。
ICP光源又是一種光薄的光源，自吸現象小，且系無電極放電，無電極沾污。這些特點使ICP光源具有優異的分析性能，符合于一個理想分析方法的要求。
