icp光譜儀主要應用于無機元素的定性及定量分析。由于icp光譜儀通過燃燒試樣來實現激發的，故在燃燒之后會有相應的廢氣排出，目前市場上對于光譜儀通用廢氣處理方式都是通過采取抽風機在廢氣出風口直接抽取廢氣排出，容易污染空氣，排出廢氣的同時無法快速有效的處理來自廢氣口積壓的熱量，很容易導致出環境污染。