icp光譜儀即以電感耦合高頻等離子體為激發光源，利用每種元素的原子或離子發射特征光譜來判斷物質的組成，而進行元素的定性與定量分析儀器。也被稱為ICP原子發射光譜儀。 icp光譜儀優缺點分析：
優點：
1.多元素同時檢出能力。可同時檢測一個樣品中的多種元素。一個樣品一經激發，樣品中各元素都各自發射出其特征譜線，可以進行分別檢測而同時測定多種元素。
2.分析速度快。試樣多數不需經過化學處理就可分析，且固體、液體試樣均可直接分析，同時還可多元素同時測定，若用光電直讀光譜儀，則可在幾分鐘內同時作幾十個元素的定量測定。
3.選擇性好。由于光譜的特征性強，所以對于一些化學性質極相似的元素的分析具有特別重要的意義。如鈮和鉭、銑和鉿、十幾種稀土元素的分析用其他方法都很困難，而對aes來說是毫無困難之舉。
4.檢出限低。用電感耦合等離子體新光源，檢出限可低至數量級。
5.用icp光源時，準確度高，標準曲線的線性范圍寬，可同時測定高、中、低含量的不同元素。因此廣泛應用于各個領域之中。
6.樣品消耗少，適于整批樣品的多組分測定，尤其是定性分析更顯示出*的優勢。
缺點：
1.在經典分析中，影響譜線強度的因素較多，尤其是試樣組分的影響較為明顯，所以對標準參比的組分要求較高。
2.含量(濃度)較大時，準確度較差。
3.只能用于元素分析，不能進行結構、形態的測定。
4.大多數非金屬元素難以得到靈敏的光譜線。
